采用氦質(zhì)譜真空檢漏對真空泄漏率要求較高的大容器檢漏時檢漏靈敏度的高低是衡量檢漏結(jié)果精確與否的重要指標(biāo)之一?！耙浞职l(fā)揮檢漏機(jī)的能力，以求得盡可能高的檢漏靈敏度。必須對輔助真空系統(tǒng)進(jìn)行合理設(shè)計?！蓖ㄟ^對檢漏靈敏度的分析確定檢漏機(jī)在真空系統(tǒng)中的連接方式，可以達(dá)到檢漏目的的連接方式有兩種。

　　檢漏機(jī)接在前級泵側(cè)：檢漏機(jī)接在前級一側(cè)時，令前級泵對氦氣的抽速為6,次級泵對氦氣的抽速為6%。檢漏機(jī)支路對氦氣的抽速為6X，系統(tǒng)檢漏靈敏度的變化。

　　檢漏機(jī)接在高真空一側(cè)時：檢漏靈敏度的變化，檢漏機(jī)接在高真空一側(cè)通過對檢漏機(jī)的調(diào)節(jié)，能使其在高真空側(cè)和前級側(cè)時對氦氣的抽速6X 保持一致。系統(tǒng)參數(shù)一般不變?？煽闯龅母叩腿Q于6和6% 的大小在分流狀態(tài)。有6%在次級泵起動進(jìn)入穩(wěn)定狀態(tài)后，一般可將前級泵處節(jié)流閥關(guān)閉。即由此可知，此時相同條件下次級泵處閥門卻不能完全斷開，即比較在需對大容器抽高真空并要求檢漏時，檢漏機(jī)接在前級側(cè)時的系統(tǒng)檢漏靈敏度高于接在高真空側(cè)的檢漏靈敏度。要培養(yǎng)出能駕馭氣密性試漏機(jī)與氣密性檢漏機(jī)的操作人員，要構(gòu)成自立維護(hù)的體系，一方面要重視人才的培養(yǎng)，另一方面要根據(jù)其實踐才能對工作有切實的進(jìn)步，以實現(xiàn)實在的作用，也即這個作用是能得到堅持的。在展開自立維護(hù)時，不可寄希望于一瞬間處置許多問題，為此將方針和內(nèi)容整理為7步，這即是“步進(jìn)式自立維護(hù)”。志向的辦法是，徹底地做到每一步，待到達(dá)一定程度，再進(jìn)入下一步。

　　自立維護(hù)的7個過程為：

　　第一步：前期清掃

　　前期清掃即是以設(shè)備為中間徹底清掃塵埃、廢物等。我們要將清掃變檢查，檢查能發(fā)現(xiàn)問題，發(fā)現(xiàn)設(shè)備的潛在缺陷，并及時加以處置。一同經(jīng)過清掃可有助于操作人員對設(shè)備產(chǎn)生維護(hù)之心。

　　第二步：發(fā)生源、困難部位對策

　　為了堅持和進(jìn)步第一期間前期清掃的作用，就要根絕塵埃、污染等的本源(發(fā)生源)，為此可采用消除或加蓋、密封等對策。對難于維護(hù)維護(hù)的部位，如加油、清掃、除污等，也應(yīng)采用有效對策，進(jìn)步設(shè)備的可維護(hù)維護(hù)性。

　　第三步：編寫清掃、加油基準(zhǔn)

　　根據(jù)第一、第二步活動所取得的領(lǐng)會，編寫一個暫時基準(zhǔn)，以維護(hù)自個分管的設(shè)備，如清掃、加油，緊固等基本條件。

　　第四步：總點檢

　　為了充分發(fā)揮設(shè)備的固有功用，要學(xué)習(xí)設(shè)備結(jié)構(gòu)、功用及判別基準(zhǔn)，檢查設(shè)備各首要部分的外觀，發(fā)現(xiàn)設(shè)備的缺陷并使之恢復(fù)，一同使自個把握必要的檢查技能。對從前編寫的基準(zhǔn)可思考不斷完善，以利檢查。

　　第五步：自立點檢

　　在第三步編寫的清掃基準(zhǔn)，加油基準(zhǔn)，檢查基準(zhǔn)的基礎(chǔ)上，加上第四步學(xué)到的內(nèi)容，并徹底遵照執(zhí)行，這即是自立檢查基準(zhǔn)。在學(xué)習(xí)和執(zhí)行的過程中，還要不斷學(xué)習(xí)和了解設(shè)備的操作和動作，質(zhì)量和設(shè)備等等的關(guān)聯(lián)性，具有準(zhǔn)確操作設(shè)備和早期發(fā)現(xiàn)異常情況的才能。

　　第六步：保證工程品質(zhì)

　　從現(xiàn)有的以設(shè)備為中間的活意向保證工程品質(zhì)方面拓展，擬定出處理基準(zhǔn)，應(yīng)徹底削減物、事等處理目標(biāo)，盡量簡化。

　　所謂應(yīng)徹底的整頓，遵循(堅持)即定基準(zhǔn)并逐步完善，以便作業(yè)人員易于遵循。車間施行目視處理和處理施行標(biāo)準(zhǔn)化。

　　第七步：自立處理

　　經(jīng)過從前6步的活動，已取得了不少的作用，人員也得到了很大的鍛煉，所以這第7步就要建立起不斷改進(jìn)的意識，不斷地進(jìn)行PDCA循環(huán)，聯(lián)系公司的方針、方針，擬定出合適自個的新的小組活動方針，做到自立處理的徹底化。