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真空系統(tǒng)漏氣是由各種各樣的微小縫隙造成的。(如玻璃真空系統(tǒng)中燒結(jié)的地方夾有臟物微小的炸裂;金屬真空系統(tǒng)中的焊縫,可拆卸部位;電真空器件多半在金屬和玻璃封接,金屬陶瓷封接的地方等等)
真空系統(tǒng)的漏氣不是肉眼可以判斷的,所我們可以通過將真空系統(tǒng)抽氣,到達(dá)一定壓強(qiáng)后,關(guān)閉閥門,讓系統(tǒng)與泵隔斷,然后測量壓強(qiáng)的變化。通過壓強(qiáng)變化的曲線來區(qū)分是哪種原因造成真空系統(tǒng)達(dá)不到極限壓強(qiáng)。以必須借助一定的方法來判斷真空系統(tǒng)是否漏氣。
(1)a壓強(qiáng)保持原來的值不變。說明容器既不漏氣亦不放氣。
(2)b壓強(qiáng)開始上升很快后來呈現(xiàn)飽和狀。說明主要是放氣。
(3)c壓強(qiáng)直線上升,說明主要是漏氣。
(4)d壓強(qiáng)開始上升的很快,后來變得較,但不出現(xiàn)飽和的情況,這是上述兩種情況的綜合,即同時(shí)存在放氣和漏氣。
判定了真空系統(tǒng)漏氣后,就可以著手尋找漏孔所在的位置,以及漏孔的大小。