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真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)是真空系統(tǒng)密封性和漏氣率的關(guān)鍵。真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)是否合理,將直接影響系統(tǒng)的密封性和漏風(fēng)率。
1、盡可能避免小曲率半徑的死角,在打、打磨、清洗和清理時(shí)要平穩(wěn)過(guò)渡檢查剎車(chē)。
2.連接到真空室的管道,如抽空管道和供氣管道,應(yīng)采用圓弧過(guò)渡,使氣路暢通,但應(yīng)考慮清洗的方便性。
3.精心設(shè)計(jì)真空室內(nèi)各種連接件的結(jié)構(gòu),做到氣路暢通,防止氣路堵塞。
4.打磨和拋光真空系統(tǒng)的內(nèi)表面。表面越亮,氣體吸附的可能性越小,越容易獲得真空。
5.小化真空室的體積,縮短管道系統(tǒng)。
密封形式的選擇
密封形式可根據(jù)要求的真空度和實(shí)際工作需要選擇。
密封部分水冷后,其溫度在80左右,部分部位溫度可達(dá)100以上)。因此,應(yīng)選擇理想的密封圈材料。
用于真空密封的橡膠材料不僅要表面光滑、無(wú)劃痕和裂紋,而且要有低的透氣性和出氣率,良好的耐熱性和耐油性,以及一定的強(qiáng)度、硬度和彈性。