在設(shè)備的加工階段，有必要跟隨加工工藝（尤其是焊接工藝）及時地對半成品零部件進(jìn)行檢漏。對于制造完畢后無法接觸、檢漏或修補的部件，焊縫質(zhì)量要嚴(yán)格檢漏，不合格的及時重焊、補焊并重新檢漏，符合要求后才可以進(jìn)行下一道工序。特別是對于大容器的組焊、加工，中間過程的檢漏十分關(guān)鍵，必要時應(yīng)該設(shè)計、制造專門的檢漏工具（如探漏盒、盲板等）。對于采用雙層室壁水冷夾套的真空室體，好首先組焊完內(nèi)層室壁并檢漏，確認(rèn)沒有漏孔后再組焊外層室壁。同樣道理，對于室壁外側(cè)有保溫層等不易拆卸結(jié)構(gòu)的情況，必須首先對室壁做嚴(yán)格檢漏，然后才能包覆外層結(jié)構(gòu)。

    在條件允許情況下，所有真空法蘭與其接管（包括真空室體法蘭與室體壁）均應(yīng)采用焊后加工法蘭表面的工藝。不經(jīng)焊后加工的法蘭，即便在安裝調(diào)試階段可能滿足了密封要求，但在設(shè)備使用過程中，受熱、振動等因素也可能誘發(fā)焊接應(yīng)力的釋放，從而導(dǎo)致法蘭變形和密封性能下降。

    加工制造過程中，嚴(yán)格執(zhí)行真空作業(yè)衛(wèi)生和作業(yè)規(guī)范，對于提高真空設(shè)備和系統(tǒng)的氣密性也是很有幫助的。焊接坡口打磨成型后，需經(jīng)去油清洗并及時保護將有利于提高焊縫的氣密性。已經(jīng)加工完成的零部件動、靜密封面，應(yīng)該具有保護措施，嚴(yán)防在存放、搬運、裝配過程中發(fā)生磕碰、劃傷。使用焊接波紋管、金屬與陶瓷或玻璃封接件、玻璃器件等易損件時，更應(yīng)精心作業(yè)，尤其避免已經(jīng)通過預(yù)檢漏后被損壞而產(chǎn)生漏孔。